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产品详情
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  • 产品型号:
  • 产品厂商:INFICON
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简单介绍:
在工厂或实验室中,选择 INFICON QMG 700 分析质谱仪以突破检测极限,推动工艺革新,提升工艺水平。QMG 700 的模块化设计带来无可比拟的性能和适应性。利用 QMG 700 增强竞争优势,获得出众的测量能力。
详情介绍:

QMG 700 分析质谱仪 

超越检测极限且达到优异的稳定性和细微的分辨率 

半导体制造技术的快速发展有赖于灵敏而可靠的气体分析解决方案。在工厂或实验室中,选择 INFICON QMG 700 分析质谱仪以突破检测极限,推动工艺革新,提升工艺水平。QMG 700 的模块化设计带来无可比拟的性能和适应性。利用 QMG 700 增强竞争优势,获得出众的测量能力。


根据具体的应用要求,选择配制合适的离子源、滤质器和射频电源,可量身定制QMG 700。QMG 700有超过九个数量级的动态测量量程,达到ppb 检测量级,这种优势使其成为超高真空测量的理想选择。QMG 700 对整个质量范围都有很高的分辨率,对较低的质量可获得更高的分辨率。对于某些非常具挑战性的测量应用,如同位素分析,氦和氘分离等,QMG 700是极好的选择。QMG 700 出色的长期稳定性可保证关键性的测量,有效控制您的工艺。


INFICON 在分析质谱仪领域五十多年的历史和遥遥率先的技术,确保QMG 700 成为进行 气体分析的正确选择。依赖 INFICON QMG 700 以及我们享誉世界的应用专长,您可获得始终如一的高精度测量数据。


功能

  • 质量范围选择为 1-2048 amu
  • 超过九个数量级的动态量程
  • 极快的测量速度:0.125 ms/amu
  • MDPP < 10E-16 mbar
  • 涵盖整个质量范围的高分辨率:质量 1、2 和 3 可在 ppb 范围内清晰地分离

  • 超过 10 个不同的离子源和离子光学组合
  • 离散或连续倍增电极电子倍增器选件
  • 用于正负离子以及中性粒子分析的离子计数前置放大器
  • IO 选项:8 个模拟输入/输出和 32 个数字输入/输出
  • 软件功能强大,灵活实用且具友好的用户界面
  • QMG 700 分析质谱仪 (AMS) 是适合以下应用的成熟解决方案:气体排放质谱分析,终点检测沉积材料监控,二次离子质谱分析


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